Vakuumpumpen spielen eine entscheidende Rolle in der Halbleiterfertigung. Im Einzelnen haben sie folgende Hauptanwendungsgebiete:
1. Schaffung einer stabilen Vakuumumgebung: In der Halbleiterfertigung erfordern viele Prozesse eine Vakuumumgebung, um zu verhindern, dass gasförmige Verunreinigungen das Produkt verunreinigen. Halbleiter-Vakuumpumpen können während des Prozesses entstehende Gase effizient absaugen, wodurch das Vakuumniveau in der Prozesskammer aufrechterhalten und die Produktqualität sichergestellt wird.
2. Schädliche Gase entfernen: Bei der Halbleiterfertigung entstehen mitunter für Mensch und Umwelt schädliche Gase. Vakuumpumpen können diese schädlichen Gase schnell entfernen und so die Sicherheit der Arbeiter gewährleisten und die Umwelt schützen.
3. Bereitstellung stabiler Prozessbedingungen: Durch die kontinuierliche und stabile Bereitstellung einer Vakuumumgebung bieten Halbleiter-Vakuumpumpen die notwendige Unterstützung für heikle Prozesse in der Produktion und sorgen so für Produktgleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit.
